პიეზორეზისტული სენსორის სტრუქტურა

ამ სენსორში, რეზისტორული ზოლი ინტეგრირებულია მონოკრისტალურ სილიკონის დიაფრაგმაზე ინტეგრაციის პროცესით, რათა წარმოიქმნას სილიკონის პიეზორეზისტენტული ჩიპი, და ამ ჩიპის პერიფერია მყარად შეფუთულია გარსში და ელექტროდის მილები გამოდის გარეთ. პიეზორეზისტული წნევის სენსორი, რომელიც ასევე ცნობილია როგორც მყარი მდგომარეობის წნევის სენსორი, განსხვავდება წებოვანი დაძაბვის ლიანდაგისგან, რომელსაც სჭირდება გარე ძალის არაპირდაპირი შეგრძნება ელასტიური მგრძნობიარე ელემენტების მეშვეობით, მაგრამ უშუალოდ გრძნობს გაზომილ წნევას სილიკონის დიაფრაგმის მეშვეობით.

სილიკონის დიაფრაგმის ერთი მხარე არის მაღალი წნევის ღრუ, რომელიც ურთიერთობს გაზომილ წნევასთან, ხოლო მეორე მხარე არის დაბალი წნევის ღრუ, რომელიც აკავშირებს ატმოსფეროს. ზოგადად, სილიკონის დიაფრაგმა შექმნილია როგორც წრე, ფიქსირებული პერიფერიით, და დიამეტრის თანაფარდობა სისქესთან არის დაახლოებით 20 ~ 60. P მინარევების წინააღმდეგობის ოთხი ზოლი ლოკალურად არის გაფანტული წრიულ სილიკონის დიაფრაგმაზე და უკავშირდება სრულ ხიდს, რომელთაგან ორი არის კომპრესიული დაძაბულობის ზონაში და დანარჩენი ორი არის დაჭიმვის ძაბვის ზონაში, რომლებიც სიმეტრიულია დიაფრაგმის ცენტრის მიმართ.

გარდა ამისა, ასევე არის კვადრატული სილიკონის დიაფრაგმა და სილიკონის სვეტის სენსორი. სილიკონის ცილინდრული სენსორი ასევე დამზადებულია რეზისტენტული ზოლებისგან სილიკონის ცილინდრის კრისტალური სიბრტყის გარკვეული მიმართულებით დიფუზიით, და ორი დაძაბულობის რეზისტენტული ზოლი და ორი კომპრესიული სტრესის რეზისტენტული ზოლი ქმნის სრულ ხიდს.

პიეზორეზისტული სენსორი არის მოწყობილობა, რომელიც დამზადებულია დიფუზიური წინააღმდეგობით ნახევარგამტარული მასალის სუბსტრატზე, ნახევარგამტარული მასალის პიეზორეზისტული ეფექტის მიხედვით. მისი სუბსტრატი შეიძლება გამოყენებულ იქნას უშუალოდ როგორც საზომი სენსორი, ხოლო დიფუზიის წინააღმდეგობა დაკავშირებულია სუბსტრატში ხიდის სახით.

როდესაც სუბსტრატი დეფორმირებულია გარე ძალით, წინააღმდეგობის მნიშვნელობები შეიცვლება და ხიდი გამოიმუშავებს შესაბამის დაუბალანსებელ გამომუშავებას. პიეზორეზისტულ სენსორებად გამოყენებული სუბსტრატები (ან დიაფრაგმები) არის ძირითადად სილიკონის ვაფლები და გერმანიუმის ვაფლები. სილიკონის პიეზორეზისტიული სენსორები, რომლებიც დამზადებულია სილიკონის ვაფლისგან, როგორც მგრძნობიარე მასალისგან, სულ უფრო მეტ ყურადღებას იპყრობს, განსაკუთრებით, ყველაზე ფართოდ გამოიყენება მყარი მდგომარეობის პიეზორეზისტიული სენსორები წნევისა და სიჩქარის გასაზომად.