პიზორესისტული სენსორის სტრუქტურა

ამ სენსორში, რეზისტორული ზოლები ინტეგრირებულია მონოკრისტალური სილიკონის დიაფრაგმზე ინტეგრაციის პროცესით, რათა გააკეთოთ სილიკონის პიეზორესისტული ჩიპი, და ამ ჩიპის პერიფერია ფიქსირდება ჭურვიში, ხოლო ელექტროდიდის ტყვიები გამოიკვეთა. პიეზორესისტული წნევის სენსორი, რომელიც ასევე ცნობილია როგორც მყარი მდგომარეობის წნევის სენსორი, განსხვავდება წებოვანი შტამების გაზომვისგან, რომელსაც უნდა იგრძნოს გარე ძალა ირიბად ელასტიური მგრძნობიარე ელემენტებით, მაგრამ პირდაპირ გრძნობს გაზომვებულ წნევას სილიკონის დიაფრაგმის საშუალებით.

სილიკონის დიაფრაგმის ერთი მხარე არის მაღალი წნევის ღრუს კომუნიკაცია გაზომილი წნევასთან, ხოლო მეორე მხარე არის დაბალი წნევის ღრუს, რომელიც ატმოსფეროსთან კომუნიკაციას ახდენს. საერთოდ, სილიკონის დიაფრაგმი შექმნილია როგორც წრე ფიქსირებული პერიფერიით, ხოლო დიამეტრის სისქესთან თანაფარდობა დაახლოებით 20 ~ 60. ოთხი p მინარევების წინააღმდეგობის ზოლები ადგილობრივად დიფუზირდება წრიული სილიკონის დიაფრაგმზე და უკავშირდება სრულ ხიდს, რომელთაგან ორი არის კომპრესიული სტრესის ზონაში და დანარჩენი ორი არის ცენტრიული სტრესი, რომელთან ერთად არის სიმსივნური სტრესი.

გარდა ამისა, ასევე არსებობს კვადრატული სილიკონის დიაფრაგმა და სილიკონის სვეტის სენსორი. სილიკონის ცილინდრული სენსორი ასევე დამზადებულია რეზისტენტული ზოლებით, დიფუზიით სილიკონის ცილინდრის ბროლის სიბრტყის გარკვეული მიმართულებით, და ორი დაძაბული სტრესის რეზისტენტული ზოლები და ორი კომპრესიული სტრესის რეზისტენტული ზოლები ქმნიან სრულ ხიდს.

Piezoresistive სენსორი არის მოწყობილობა, რომელიც დამზადებულია ნახევარგამტარული მასალის სუბსტრატზე დიფუზიის წინააღმდეგობის გზით, ნახევარგამტარული მასალის პიეზორეზისტული ეფექტის შესაბამისად. მისი სუბსტრატი პირდაპირ შეიძლება გამოყენებულ იქნას როგორც საზომი სენსორი, ხოლო დიფუზიის წინააღმდეგობა უკავშირდება სუბსტრატში ხიდის სახით.

როდესაც სუბსტრატი დეფორმირდება გარე ძალის მიერ, წინააღმდეგობის მნიშვნელობები შეიცვლება და ხიდი წარმოქმნის შესაბამის გაუწონასწორებელ გამომავალს. სუბსტრატები (ან დიაფრაგმები), რომლებიც გამოიყენება როგორც პიეზორეზისტული სენსორები, ძირითადად სილიკონის ძაფები და გერმანიუმის ძაფები არიან. სილიკონის ვაფლისგან დამზადებული სილიკონის პიეზორეზისტული სენსორები, როგორც მგრძნობიარე მასალები, უფრო და უფრო მეტ ყურადღებას იპყრობს, განსაკუთრებით მყარი მდგომარეობის პიეზორეზისტული სენსორები წნევის და სიჩქარის გაზომვისთვის ყველაზე ფართოდ გამოიყენება.