გამოიყენება Passat-ის საწვავის საერთო სარკინიგზო წნევის სენსორზე 06E906051K

1. წნევის სენსორის ფორმირების მეთოდი, რომელიც მოიცავს:

ნახევარგამტარული სუბსტრატის უზრუნველყოფა, სადაც ნახევარგამტარულ სუბსტრატზე წარმოიქმნება პირველი ფენათაშორისი დიელექტრიკული ფენა, პირველი ფენათაშორისი დიელექტრიკული ფენა და მეორე ფენათაშორისი დიელექტრიკული ფენა.

ქვედა ელექტროდის ფირფიტა პირველ ფენებს შორის დიელექტრიკულ ფენაში, პირველი ორმხრივი ელექტროდი, რომელიც მდებარეობს იმავე ფენაზე, როგორც ქვედა ელექტროდის ფირფიტა და ერთმანეთისგან დაშორებული.

დამაკავშირებელი ფენები;

ქვედა პოლარული ფირფიტის ზემოთ მსხვერპლშეწირვის ფენის ფორმირება;

ზედა ელექტროდის ფირფიტის ფორმირება პირველ შრეთა დიელექტრიკულ ფენაზე, პირველ ურთიერთდაკავშირების ფენაზე და მსხვერპლშეწირულ ფენაზე;

სამსხვერპლო ფენის ჩამოყალიბების შემდეგ და ზედა ფირფიტის ჩამოყალიბებამდე, პირველ ურთიერთდაკავშირების ფენაში

შემაერთებელი ღარის ჩამოყალიბება და შემაერთებელი ღარის შევსება ზედა ფირფიტით პირველ ურთიერთდაკავშირების ფენასთან ელექტრო დასაკავშირებლად;ან,

ზედა ელექტროდის ფირფიტის ფორმირების შემდეგ ზედა ელექტროდის ფირფიტაში და პირველ ურთიერთდაკავშირების ფენაში წარმოიქმნება დამაკავშირებელი ღარები, რომლებიც

ზედა ელექტროდის ფირფიტისა და პირველი ურთიერთდაკავშირების ფენის დამაკავშირებელი გამტარი ფენის ფორმირება შეერთების ღარში;

ზედა ფირფიტისა და პირველი ურთიერთდაკავშირების ფენის ელექტრული შეერთების შემდეგ, მსხვერპლშეწირვის ფენის ამოღება ღრუს შესაქმნელად.

2. წნევის სენსორის ფორმირების მეთოდი 1-ლი პრეტენზიის მიხედვით, სადაც პირველ ფენაში

შუალედური დიელექტრიკულ ფენაზე მსხვერპლშეწირვის ფენის ფორმირების მეთოდი მოიცავს შემდეგ ნაბიჯებს:

პირველ შრეთაშორის დიელექტრიკულ ფენაზე მსხვერპლშეწირული მასალის ფენის დეპონირება;

მსხვერპლშეწირული მასალის ფენის ნიმუშის დახატვა მსხვერპლშეწირვის ფენის შესაქმნელად.

3. წნევის სენსორის ფორმირების მეთოდი მე-2 პრეტენზიის მიხედვით, სადაც გამოყენებულია ფოტოლითოგრაფია და გრავირება.

მსხვერპლშეწირული მასალის ფენა ფორმირებულია ოქროვის პროცესით.

4. წნევის სენსორის ფორმირების მეთოდი მე-3 პრეტენზიის მიხედვით, სადაც მსხვერპლშეწირვის ფენა

მასალა არის ამორფული ნახშირბადი ან გერმანიუმი.

5. წნევის სენსორის ფორმირების მეთოდი 4 პრეტენზიის მიხედვით, სადაც მსხვერპლშეწირვის ფენა

მასალა არის ამორფული ნახშირბადი;

მსხვერპლშეწირული მასალის ფენის ამოღების პროცესში გამოყენებული აირები მოიცავს O2, CO, N2 და Ar;

მსხვერპლშეწირული მასალის ფენის ამოღების პროცესში პარამეტრებია: O2-ის ნაკადის დიაპაზონი არის 18 SCCM ~ 22 SCCM, ხოლო CO-ს დინების სიჩქარე 10%.

ნაკადის სიჩქარე მერყეობს 90 SCCM-დან 110 SCCM-მდე, N2-ის დინების სიჩქარე მერყეობს 90 SCCM-დან 110 SCCM-მდე, ხოლო ნაკადის სიჩქარე Ar.

დიაპაზონი არის 90 SCCM ~ 110 SCCM, წნევის დიაპაზონი არის 90 mtor ~ 110 mtor, და მიკერძოებული სიმძლავრე არის

540w-660w.