გამოყენებულია Passat საწვავის საერთო სარკინიგზო წნევის სენსორი 06e906051k

1. წნევის სენსორის ფორმირების მეთოდი, რომელიც მოიცავს:

ნახევარგამტარული სუბსტრატის მიწოდება, რომლის დროსაც პირველი ინტერლეიერის დიელექტრიკული ფენა, პირველი ინტერლეიერი დიელექტრიკული ფენა და მეორე ინტერლეიერის დიელექტრიკული ფენა იქმნება ნახევარგამტარული სუბსტრატზე.

ქვედა ელექტროდის ფირფიტა პირველ ინტერლეიერის დიელექტრიკულ ფენაში, პირველი ურთიერთდახმარების ელექტროდი, რომელიც მდებარეობს იმავე ფენაზე, როგორც ქვედა ელექტროდის ფირფიტა და დაშორებულია.

ფენების დამაკავშირებელი;

ქვედა პოლარული ფირფიტის ზემოთ მსხვერპლშეწირვის ფენის შექმნა;

ზედა ელექტროდის ფირფიტის შექმნა პირველ ინტერლეიერის დიელექტრიკულ ფენაზე, პირველი ურთიერთკავშირის ფენა და მსხვერპლშეწირული ფენა;

მსხვერპლშეწირვის ფენის ფორმირების შემდეგ და ზედა ფირფიტის ფორმირებამდე, პირველი ურთიერთკავშირის ფენაში

კავშირის გროვის ფორმირება და კავშირის გროვის შევსება ზედა ფირფიტასთან, რომ ელექტრონულად დააკავშიროთ პირველი ურთიერთკავშირის ფენა; ან,

ზედა ელექტროდის ფირფიტის ფორმირების შემდეგ, დამაკავშირებელი ღარები იქმნება ზედა ელექტროდის ფირფიტაში და პირველი ურთიერთკავშირის ფენაში, რომელიც

ზედა ელექტროდის ფირფიტისა და პირველი ურთიერთკავშირის ფენის დამაკავშირებელი გამტარ ფენის შექმნა კავშირის გროვში;

ზედა ფირფიტისა და პირველი ურთიერთკავშირის ფენის ელექტრული დამაკავშირებელი მას შემდეგ, რაც ამოიღეთ მსხვერპლშეწირვის ფენა ღრუს შესაქმნელად.

2. წნევის სენსორის ფორმირების მეთოდი 1 მოთხოვნის მიხედვით, სადაც პირველ ფენაში

ინტერლეიერის დიელექტრიკულ ფენაზე მსხვერპლშეწირვის ფენის ფორმირების მეთოდი მოიცავს შემდეგ ნაბიჯებს:

მსხვერპლშეწირვის მასალის ფენის შეტანა პირველ ინტერლეიერის დიელექტრიკულ ფენაზე;

მსხვერპლშეწირვის ფენის შესაქმნელად მსხვერპლშეწირვის ფენის ასახვა.

3. წნევის სენსორის ფორმირების მეთოდი 2 -ის მიხედვით, სადაც გამოიყენება ფოტოლიტოგრაფია და გრავიურა.

მსხვერპლშეწირვის მატერიალური ფენის ნიმუში ხდება etching პროცესით.

4. წნევის სენსორის ფორმირების მეთოდი 3 მოთხოვნის შესაბამისად, სადაც მსხვერპლშეწირვის ფენა

მასალა არის ამორფული ნახშირბადი ან გერმანიუმი.

5. წნევის სენსორის ფორმირების მეთოდი 4 მოთხოვნის შესაბამისად, სადაც მსხვერპლშეწირვის ფენა

მასალა ამორფული ნახშირბადია;

მსხვერპლშეწირვის მატერიალური ფენის ჩაქრობის პროცესში გამოყენებული გაზები მოიცავს O2, CO, N2 და AR;

მსხვერპლშეწირვის მატერიალური ფენის აღების პროცესში მოცემულია პარამეტრები: O2– ის ნაკადის დიაპაზონი არის 18 SCCM ~ 22 SCCM, ხოლო CO– ის ნაკადის სიჩქარე 10%.

ნაკადის სიჩქარე მერყეობს 90 SCCM– დან 110 SCCM– მდე, N2– ის ნაკადის სიჩქარე მერყეობს 90 SCCM– დან 110 SCCM– მდე და AR– ის ნაკადის სიჩქარე.

დიაპაზონი არის 90 SCCM ~ 110 SCCM, წნევის დიაპაზონი არის 90 mTOR ~ 110 mTOR, ხოლო მიკერძოებული ძალა

540W ～ 660W。