ძრავის წნევის სენსორი 2CP3-68 1946725 კარტერ ექსკავატორისთვის

წნევის სენსორის მომზადების მეთოდი, რომელიც ხასიათდება შემდეგი ნაბიჯების შემადგენლობაში:

S1, ვაფლის უზრუნველყოფა უკანა ზედაპირით და წინა ზედაპირით; პიეზორესისტული ზოლისა და მძიმედ დოპირებული კონტაქტის არეალის შექმნა ვაფლის წინა ზედაპირზე; წნევის ღრმა ღრუს ჩამოყალიბება ვაფლის უკანა ზედაპირის დაჭერით;

S2, ვაფლის უკანა მხარეს დამხმარე ფურცლის დაკავშირება;

S3, წამყვანი ხვრელების და ლითონის მავთულის წარმოება ვაფლის წინა მხარეს და პიეზორესისტული ზოლების დამაკავშირებლად, ხორბლის ქვის ხიდის შესაქმნელად;

S4, ვაფლის წინა ზედაპირზე პასიურობის ფენის დეპონირება და ფორმირება და პასივაციის ფენის ნაწილის გახსნა ლითონის ბალიშის ფართობის შესაქმნელად. 2. წნევის სენსორის წარმოების მეთოდი 1 მოთხოვნის შესაბამისად, რომელშიც S1 კონკრეტულად მოიცავს შემდეგ ნაბიჯებს: S11: ვაფლის მიწოდება უკანა ზედაპირზე და წინა ზედაპირზე, და განსაზღვრავს წნევის მგრძნობიარე ფილმის სისქეს ვაფაზე; S12: იონური იმპლანტაცია გამოიყენება ვაფლის წინა ზედაპირზე, პიეზორესისტული ზოლები იწარმოება მაღალი ტემპერატურის დიფუზიის პროცესით, ხოლო საკონტაქტო რეგიონები მძიმედ დოპდება; S13: ვაფლის წინა ზედაპირზე დამცავი ფენის დეპონირება და ფორმირება; S14: ვაფლის უკანა მხარეს ზეწოლის ღრმა ღრუში ჩაქრობა და ფორმირება, რათა შექმნან წნევის მგრძნობიარე ფილმი. 3. წნევის სენსორის წარმოების მეთოდი 1 მოთხოვნის შესაბამისად, სადაც ვაფლი არის სოი.

1962 წელს, ტუფტე და სხვ. აწარმოეს პიეზორეზისტული წნევის სენსორი დიფუზური სილიკონის პიეზორესისტული ზოლებით და სილიკონის ფილმის სტრუქტურით, და დაიწყო კვლევები პიეზორეზისტული წნევის სენსორის შესახებ. 1960 -იანი წლების ბოლოს და 1970 -იანი წლების დასაწყისში, სამი ტექნოლოგიის, კერძოდ, სილიკონის ანისოტროპული ტექნოლოგიის, იონური იმპლანტაციის ტექნოლოგიისა და ანოდიული შემაერთებელი ტექნოლოგიის გამოჩენა, დიდი ცვლილებები მოუტანა წნევის სენსორს, რომელმაც მნიშვნელოვანი როლი ითამაშა წნევის სენსორის მუშაობის გაუმჯობესებაში. 1980 -იანი წლებიდან, მიკრომადინაციური ტექნოლოგიის შემდგომი განვითარებით, მაგალითად, ანისოტროპული etching, ლითოგრაფია, დიფუზიის დოპინგი, იონური იმპლანტაცია, შემაკავშირებელი და საფარი, წნევის სენსორის ზომა მუდმივად შემცირდა, მგრძნობელობა გაუმჯობესდა და გამომავალი მაღალია და შესრულება შესანიშნავი. ამავდროულად, ახალი მიკრომადინინგის ტექნოლოგიის შემუშავება და გამოყენება ახდენს წნევის სენსორის ფილმის სისქეს ზუსტად კონტროლირებად.