ვარგისია Hitachi KM11 ზეთის წნევის სენსორისთვის EX200-2-3-5

წნევის სენსორის ოთხი წნევის ტექნოლოგია

1. ტევადი

ტევადი წნევის სენსორები, როგორც წესი, უპირატესობას ანიჭებენ OEM პროფესიონალური აპლიკაციების დიდი რაოდენობით. ტევადობის ცვლილებების გამოვლენა ორ ზედაპირს შორის ამ სენსორებს საშუალებას აძლევს იგრძნონ უკიდურესად დაბალი წნევა და ვაკუუმის დონე. ჩვენი ტიპიური სენსორის კონფიგურაციაში, კომპაქტური კორპუსი შედგება ორი მჭიდროდ განლაგებული, პარალელური და ელექტრულად იზოლირებული ლითონის ზედაპირისგან, რომელთაგან ერთი არსებითად არის დიაფრაგმა, რომელსაც შეუძლია ოდნავ მოხრილი იყოს წნევის ქვეშ. ეს მყარად დამაგრებული ზედაპირები (ან ფირფიტები) დამონტაჟებულია ისე, რომ შეკრების მოხრა ცვლის მათ შორის უფსკრული (ფაქტობრივად ქმნის ცვლადი კონდენსატორს). შედეგად მიღებული ცვლილება გამოვლინდება მგრძნობიარე ხაზოვანი შედარებითი სქემით (ან ASIC), რომელიც აძლიერებს და გამოსცემს პროპორციულ მაღალი დონის სიგნალს.

2.CVD ტიპი

ქიმიური ორთქლის დეპონირების (ან "CVD") წარმოების მეთოდი აკავშირებს პოლისილიკონის ფენას უჟანგავი ფოლადის დიაფრაგმასთან მოლეკულურ დონეზე, რითაც წარმოქმნის სენსორს შესანიშნავი გრძელვადიანი დრიფტის შესრულებით. ნახევრადგამტარების წარმოების საერთო სერიული დამუშავების მეთოდები გამოიყენება პოლისილიკონის დაძაბვის ლიანდაგის ხიდების შესაქმნელად შესანიშნავი შესრულებით ძალიან გონივრულ ფასად. CVD სტრუქტურას აქვს შესანიშნავი ღირებულება და არის ყველაზე პოპულარული სენსორი OEM აპლიკაციებში.

3. თხრილის ფირის ტიპი

თხრილის ფირის დეპონირებას (ან "ფილმს") შეუძლია შექმნას სენსორი მაქსიმალური კომბინირებული წრფივობით, ჰისტერეზით და განმეორებადობით. სიზუსტე შეიძლება იყოს სრული მასშტაბის 0,08%-მდე, ხოლო გრძელვადიანი დრიფტი ყოველწლიურად არის 0,06%-მდე სრული მასშტაბის. საკვანძო ინსტრუმენტების არაჩვეულებრივი შესრულება - ჩვენი დახვეწილი თხელი ფირის სენსორი არის საგანძური წნევის სენსორულ ინდუსტრიაში.

4.MMS ტიპი

ეს სენსორები იყენებენ მიკრო-დამუშავებულ სილიკონის (MMS) დიაფრაგმას წნევის ცვლილებების დასადგენად. სილიკონის დიაფრაგმა იზოლირებულია საშუალოდან ზეთით სავსე 316SS-ით და ისინი რეაგირებენ სერიულად პროცესის სითხის წნევასთან. MMS სენსორი იყენებს ნახევარგამტარების წარმოების საერთო ტექნოლოგიას, რომელსაც შეუძლია მიაღწიოს მაღალი ძაბვის წინააღმდეგობას, კარგ წრფივობას, შესანიშნავი თერმული შოკის შესრულებას და სტაბილურობას კომპაქტურ სენსორულ პაკეტში.